点击次数:更新时间:2019-03-19 13:03:12【打印】
电子气体是高科技产业重要的“源”资料，是集成电路制作过程中必不可少的要害支撑资料。据专业人士泄漏，中国半导体行业要实现从跟随走向引领的跨越，电子气体的打破一定会是最重要的一环。
半导体制作过程中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相堆积、分散等要运用大量的电子气体，且电子气体的纯度对芯片质量影响很大。跟着集成电路制程节点不断缩小（已经走到10/7纳米），对电子气体的颗粒度和杂质含量的要求也越来越高。因此，集成电路技能快速发展，对电子气体的种类、数量、质量、安全性以及安稳性等方面均提出了更高的要求。
可是现在我国电子气体生产的瓶颈还许多，从原资料纯度开端，到组成工艺、对温度和压力的操控，再到提纯方法和剖析方法，以及产品充装过程中对杂质的操控，每个环节都会影响整个产品的质量。
从技能层面来看，国内企业已经根本具有了生产高纯电子气体的才能，可是国内电子气体的生产商还不能全面进入集成电路等领域。小编总结了一下三大原因：
榜首，本乡电子气体的生产和供货商规模较小，不能为用户供给全方位的服务。和国际巨头公司比较，国内的供货商总体来说体量较小，现在大多通过低价竞赛的方式占领一点市场份额，从而导致价格快速下滑，利润很薄，乃至“赔本赚吆喝”。国内电子气体企业短少提升创新才能的资金，以及为用户供给全方位服务的资源。
第二，质量安稳性问题。电子气体，特别是高纯电子气体是影响电子器件可靠性和成品率的重要因素。跟着电子信息技能的飞速发展，对电子气体的纯度要求也越来越高，经常需求6N级（99.9999％）乃至更高的纯度，并且对电子气体质量的安稳性要求也越来越严苛。“举一个比如，如果一种电子气体产品，在集成电路制作工艺中通过验证，这样的纯度和质量要求就被确定了。芯片制作商不希望看到产品的质量有任何改变，即使是纯度的进一步提高也可能产生意想不到的问题。所以电子资料生产过程的任何改变，包括更换质料供货商、生产工艺的变动等，都必须及时通知芯片制作商，他们会依据情况决定是否重新进行验证。因为国内企业生产的电子气体发生过多次质量事故，因此，影响了芯片制作商对本乡电子产品的信任度。”许从应对记者说。
第三，国内电子气体产品的包装、储运未能和现代电子工业的要求接轨。为了节约本钱，许多企业在包装、储运等方面降低了要求，为此出现过种种问题。
|